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太陽能發(fā)電新能源硅晶片凈化工程設(shè)計方案解決
發(fā)布時間：2021-06-19 01:43:43 | 作者： admin | 來源： 本站
太陽能發(fā)電新能源硅晶片是由光伏材料生產(chǎn)加工而成的一片片像浴室鏡子一樣明亮的圓片，是生產(chǎn)制造半導(dǎo)體材料集成電路芯片集成ic的原料。現(xiàn)階段微電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈迅猛發(fā)展，集成電路芯片技術(shù)性已邁進(jìn)0.18μm下列的時期，巨大地刺激性了太陽能發(fā)電新能源硅晶片的發(fā)展趨勢，另外對太陽能發(fā)電新能源硅晶片的技術(shù)參數(shù)的規(guī)定也是有很大的提升，因而太陽能發(fā)電新能源硅晶片的發(fā)展前途十分開朗。
一、太陽能發(fā)電新能源硅晶片的生產(chǎn)制造生產(chǎn)流程
從大的層面而言，太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造包含硅單晶棒生產(chǎn)制造和太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造兩絕大多數(shù)，細(xì)分化為下列幾個關(guān)鍵工藝流程：單晶體棒生長發(fā)育-單晶體棒裁剪和檢驗-直徑切削-切成片-倒圓角（圓邊）-碾磨/碾磨片查驗-蝕刻加工（有機化學(xué)蝕刻加工、LP-CVD AP-CVD 等加工工藝）-PTA熱處理工藝-反面損害解決-打磨拋光（ML粗拋、ML精拋）-清洗-質(zhì)量查驗-無塵包裝 從單晶體棒生長發(fā)育到直徑切削為硅單晶棒生產(chǎn)制造工藝流程，切成片之后的步驟為太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程。詳細(xì)介紹太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程的空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件和自動化控制系統(tǒng)軟件的方案設(shè)計。
二、空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件
空氣凈化系統(tǒng)的設(shè)計方案是與加工工藝的合理布局、生產(chǎn)制造的步驟緊密融合的。不一樣種類、不一樣主要用途的工業(yè)廠房空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件都各有特色，下邊來詳細(xì)介紹太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程的空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件計劃方案。
1、切成片室、倒圓角室、碾磨片室僅有溫控規(guī)定，設(shè)風(fēng)冷熱泵分體式柜機空調(diào)機（PAC）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內(nèi)機就近原則置放在生產(chǎn)車間內(nèi)，接風(fēng)洗塵管，選用兩層百葉風(fēng)口側(cè)排風(fēng)方法；空調(diào)室外機置放在平屋面上。切成片室的風(fēng)量很大，新風(fēng)系統(tǒng)選用立即揮發(fā)式熱泵機組型房頂空調(diào)S1-1和S1-2來填補。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風(fēng)冷熱泵分體式柜機空調(diào)機送風(fēng)口處設(shè)中效過濾器空氣過濾網(wǎng)（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），一樣房頂式空調(diào)應(yīng)設(shè)二級過濾裝置。
2、爐室、BSD室僅有溫控規(guī)定，設(shè)風(fēng)冷電加熱分體式柜機空調(diào)機（PAL）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內(nèi)機就近原則置放在生產(chǎn)車間內(nèi)，接風(fēng)洗塵管，選用正方形散流器頂排風(fēng)方法；空調(diào)室外機置放在平屋面上。新風(fēng)系統(tǒng)由鄰近凈化室正壓力回來。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風(fēng)冷電加熱分體式柜機空調(diào)機送風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒）。
3、磨光片診斷室有溫度和環(huán)境濕度操縱規(guī)定，設(shè)風(fēng)冷電加熱分體式柜機空調(diào)機（PAL）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內(nèi)機就近原則置放在生產(chǎn)車間內(nèi)，接風(fēng)洗塵管，選用正方形散流器頂排風(fēng)方法；空調(diào)室外機置放在平屋面上。新風(fēng)系統(tǒng)經(jīng)新風(fēng)機組（MAU-1、2）解決后，引至排風(fēng)管上送至房間內(nèi)，空氣濕度由新風(fēng)機組來確保。新風(fēng)機組是與凈化設(shè)備同用的。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風(fēng)冷電加熱分體式柜機空調(diào)機送風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），新風(fēng)機組下設(shè)粗、中效過濾器。
三、凈化設(shè)備
太陽能發(fā)電新能源技術(shù)潔凈工程 系統(tǒng)軟件用的新風(fēng)系統(tǒng)空調(diào)機組（MAU）和循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)機組（AHU）的制冷劑采用6-11℃的冷藏水，加溫采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的無塵蒸汽加濕，無塵蒸汽由純水經(jīng)無塵蒸汽產(chǎn)生器造成。
1、CP室凈化處理等級為7級，換風(fēng)取名為三十次/鐘頭，CP室工藝技術(shù)用酸量較多，采用全新風(fēng)系統(tǒng)空調(diào)機組（MAU-3） 高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口（HEP-ABOX）的中央空調(diào)方法。其氣旋步驟為：新風(fēng)系統(tǒng)通道-初效過濾器-中效過濾器-預(yù)電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風(fēng)機-排風(fēng)管-高效送風(fēng)口排風(fēng)-潔凈區(qū)。
2、ML室凈化處理等級為7級，換風(fēng)取名為三十次/鐘頭，采用新風(fēng)機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口（HEP-ABOX）的中央空調(diào)方法。新風(fēng)系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用MAU-1、2新風(fēng)系統(tǒng)組。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、無塵包裝間凈化處理等級為6 級，換風(fēng)取名為50次/鐘頭，采用新風(fēng)機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口（HEP-ABOX）的中央空調(diào)方法。新風(fēng)系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用的MAU-1、2新風(fēng)系統(tǒng)組。
4、7級、6 級的潔凈室采用的氣旋方式為頂端高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口排風(fēng)，屋子側(cè)下百葉風(fēng)口送風(fēng)。其氣旋步驟為：新送風(fēng)混和!中效過濾器空氣過濾網(wǎng)-翅片換熱器-通風(fēng)機-排風(fēng)管-高效率空氣過濾網(wǎng)正壓送風(fēng)口-潔凈區(qū)-屋子側(cè)下百葉窗送風(fēng)口-回通風(fēng)風(fēng)管-新送風(fēng)混和。
5、清洗室、質(zhì)量診斷室凈化處理等級為7 級，采用新風(fēng)機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 離心風(fēng)機過濾裝置模塊（FFU )）的中央空調(diào)方法。采用的氣旋方式為頂端FFU排風(fēng)，屋子側(cè)下百葉風(fēng)口送風(fēng)。FFU布滿率是33%，清洗室、質(zhì)量診斷室對NH4 、SQx濃度值有規(guī)定，需要在循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）內(nèi)加設(shè)有機化學(xué)過濾裝置。5級凈化處理間的氣旋步驟為：新送風(fēng)混和-有機化學(xué)過濾裝置（NH4 ）-有機化學(xué)過濾裝置（SQx）-中效過濾器-翅片換熱器-通風(fēng)機-排風(fēng)管-排風(fēng)靜壓箱-離心風(fēng)機過濾裝置模塊（FFU）-潔凈區(qū)-屋子側(cè)下百葉窗送風(fēng)口-回通風(fēng)風(fēng)管-新送風(fēng)混和。新風(fēng)系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用的MAU-1、2新風(fēng)系統(tǒng)組。
6、除CP戶外的凈化室所需新風(fēng)系統(tǒng)采用2臺新風(fēng)機組（MAU-1、2）集中化運輸，新風(fēng)系統(tǒng)集中化運輸后送至各循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）。其氣旋步驟為：新風(fēng)系統(tǒng)通道-初效過濾器-中效過濾器-預(yù)電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風(fēng)機-排風(fēng)管-各循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)機組（AHU）。
7、CP室、ML室、清洗室用酸量相對性較多，CP室、ML房間內(nèi)的高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口的擴散板需采用不銹鋼板材制做，清洗房間內(nèi)的FFU的鋼網(wǎng)需采用不銹鋼板材制做。
8、另特別注意，質(zhì)量診斷室依據(jù)加工工藝規(guī)定需采用灰黑色板墻、灰黑色現(xiàn)澆板，相對應(yīng)采用灰黑色送風(fēng)口，F(xiàn)FU的鋼網(wǎng)需采用灰黑色鋼網(wǎng)。
四、凈化設(shè)備的中央空調(diào)自動控制系統(tǒng)
新風(fēng)機組（MAU-1、2）采用變頻式離心風(fēng)機，由總排風(fēng)管上的負(fù)壓感應(yīng)器來操縱變頻調(diào)速器。在連接每一個排風(fēng)量及正壓力操縱循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）的新風(fēng)系統(tǒng)管上均設(shè)定電動蝶閥，由各凈化室的正壓力值來調(diào)整電動蝶閥的開啟度，使凈化室的正壓力值不隨生產(chǎn)線設(shè)備的風(fēng)量的轉(zhuǎn)變而轉(zhuǎn)變，電動蝶閥的開啟度轉(zhuǎn)變造成總排風(fēng)管上的負(fù)壓轉(zhuǎn)變，依據(jù)其預(yù)設(shè)值調(diào)整AHU-1、2的離心風(fēng)機頻率，以做到操縱目地。
1、凈化車間/凈化車間的溫度濕度操縱
凈化處理生產(chǎn)制造凈化車間的環(huán)境濕度是由新風(fēng)機組MAU-1、2來確保，操縱新風(fēng)機組排風(fēng)情況點，依據(jù)排風(fēng)情況預(yù)設(shè)值來調(diào)整干蒸氣空氣加濕器的電動式執(zhí)行器和翅片換熱器及電加熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。含濕量DPT由查驗室內(nèi)濕度光敏電阻器HE持續(xù)整定值。凈化處理生產(chǎn)制造凈化車間的溫度是由循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組AHU來確保的，依據(jù)室溫來調(diào)整翅片換熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。
2 、制冷控制系統(tǒng)
冷藏水系統(tǒng)軟件層面選用一級泵，用負(fù)載操縱的方式 來明確制冷機組及相對應(yīng)離心水泵、玻璃鋼冷卻塔的打開數(shù)量。依據(jù)設(shè)置供、智能回水壓力差來自動控制系統(tǒng)供、智能回水負(fù)責(zé)人中間壓力差總流量進(jìn)氣閥。
一、太陽能發(fā)電新能源硅晶片的生產(chǎn)制造生產(chǎn)流程
從大的層面而言，太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造包含硅單晶棒生產(chǎn)制造和太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造兩絕大多數(shù)，細(xì)分化為下列幾個關(guān)鍵工藝流程：單晶體棒生長發(fā)育-單晶體棒裁剪和檢驗-直徑切削-切成片-倒圓角（圓邊）-碾磨/碾磨片查驗-蝕刻加工（有機化學(xué)蝕刻加工、LP-CVD AP-CVD 等加工工藝）-PTA熱處理工藝-反面損害解決-打磨拋光（ML粗拋、ML精拋）-清洗-質(zhì)量查驗-無塵包裝 從單晶體棒生長發(fā)育到直徑切削為硅單晶棒生產(chǎn)制造工藝流程，切成片之后的步驟為太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程。詳細(xì)介紹太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程的空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件和自動化控制系統(tǒng)軟件的方案設(shè)計。
二、空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件
空氣凈化系統(tǒng)的設(shè)計方案是與加工工藝的合理布局、生產(chǎn)制造的步驟緊密融合的。不一樣種類、不一樣主要用途的工業(yè)廠房空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件都各有特色，下邊來詳細(xì)介紹太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程的空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件計劃方案。
1、切成片室、倒圓角室、碾磨片室僅有溫控規(guī)定，設(shè)風(fēng)冷熱泵分體式柜機空調(diào)機（PAC）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內(nèi)機就近原則置放在生產(chǎn)車間內(nèi)，接風(fēng)洗塵管，選用兩層百葉風(fēng)口側(cè)排風(fēng)方法；空調(diào)室外機置放在平屋面上。切成片室的風(fēng)量很大，新風(fēng)系統(tǒng)選用立即揮發(fā)式熱泵機組型房頂空調(diào)S1-1和S1-2來填補。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風(fēng)冷熱泵分體式柜機空調(diào)機送風(fēng)口處設(shè)中效過濾器空氣過濾網(wǎng)（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），一樣房頂式空調(diào)應(yīng)設(shè)二級過濾裝置。
2、爐室、BSD室僅有溫控規(guī)定，設(shè)風(fēng)冷電加熱分體式柜機空調(diào)機（PAL）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內(nèi)機就近原則置放在生產(chǎn)車間內(nèi)，接風(fēng)洗塵管，選用正方形散流器頂排風(fēng)方法；空調(diào)室外機置放在平屋面上。新風(fēng)系統(tǒng)由鄰近凈化室正壓力回來。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風(fēng)冷電加熱分體式柜機空調(diào)機送風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒）。
3、磨光片診斷室有溫度和環(huán)境濕度操縱規(guī)定，設(shè)風(fēng)冷電加熱分體式柜機空調(diào)機（PAL）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內(nèi)機就近原則置放在生產(chǎn)車間內(nèi)，接風(fēng)洗塵管，選用正方形散流器頂排風(fēng)方法；空調(diào)室外機置放在平屋面上。新風(fēng)系統(tǒng)經(jīng)新風(fēng)機組（MAU-1、2）解決后，引至排風(fēng)管上送至房間內(nèi)，空氣濕度由新風(fēng)機組來確保。新風(fēng)機組是與凈化設(shè)備同用的。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風(fēng)冷電加熱分體式柜機空調(diào)機送風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），新風(fēng)機組下設(shè)粗、中效過濾器。
三、凈化設(shè)備
太陽能發(fā)電新能源技術(shù)潔凈工程 系統(tǒng)軟件用的新風(fēng)系統(tǒng)空調(diào)機組（MAU）和循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)機組（AHU）的制冷劑采用6-11℃的冷藏水，加溫采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的無塵蒸汽加濕，無塵蒸汽由純水經(jīng)無塵蒸汽產(chǎn)生器造成。
1、CP室凈化處理等級為7級，換風(fēng)取名為三十次/鐘頭，CP室工藝技術(shù)用酸量較多，采用全新風(fēng)系統(tǒng)空調(diào)機組（MAU-3） 高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口（HEP-ABOX）的中央空調(diào)方法。其氣旋步驟為：新風(fēng)系統(tǒng)通道-初效過濾器-中效過濾器-預(yù)電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風(fēng)機-排風(fēng)管-高效送風(fēng)口排風(fēng)-潔凈區(qū)。
2、ML室凈化處理等級為7級，換風(fēng)取名為三十次/鐘頭，采用新風(fēng)機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口（HEP-ABOX）的中央空調(diào)方法。新風(fēng)系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用MAU-1、2新風(fēng)系統(tǒng)組。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、無塵包裝間凈化處理等級為6 級，換風(fēng)取名為50次/鐘頭，采用新風(fēng)機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口（HEP-ABOX）的中央空調(diào)方法。新風(fēng)系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用的MAU-1、2新風(fēng)系統(tǒng)組。
4、7級、6 級的潔凈室采用的氣旋方式為頂端高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口排風(fēng)，屋子側(cè)下百葉風(fēng)口送風(fēng)。其氣旋步驟為：新送風(fēng)混和!中效過濾器空氣過濾網(wǎng)-翅片換熱器-通風(fēng)機-排風(fēng)管-高效率空氣過濾網(wǎng)正壓送風(fēng)口-潔凈區(qū)-屋子側(cè)下百葉窗送風(fēng)口-回通風(fēng)風(fēng)管-新送風(fēng)混和。
5、清洗室、質(zhì)量診斷室凈化處理等級為7 級，采用新風(fēng)機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 離心風(fēng)機過濾裝置模塊（FFU )）的中央空調(diào)方法。采用的氣旋方式為頂端FFU排風(fēng)，屋子側(cè)下百葉風(fēng)口送風(fēng)。FFU布滿率是33%，清洗室、質(zhì)量診斷室對NH4 、SQx濃度值有規(guī)定，需要在循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）內(nèi)加設(shè)有機化學(xué)過濾裝置。5級凈化處理間的氣旋步驟為：新送風(fēng)混和-有機化學(xué)過濾裝置（NH4 ）-有機化學(xué)過濾裝置（SQx）-中效過濾器-翅片換熱器-通風(fēng)機-排風(fēng)管-排風(fēng)靜壓箱-離心風(fēng)機過濾裝置模塊（FFU）-潔凈區(qū)-屋子側(cè)下百葉窗送風(fēng)口-回通風(fēng)風(fēng)管-新送風(fēng)混和。新風(fēng)系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用的MAU-1、2新風(fēng)系統(tǒng)組。
6、除CP戶外的凈化室所需新風(fēng)系統(tǒng)采用2臺新風(fēng)機組（MAU-1、2）集中化運輸，新風(fēng)系統(tǒng)集中化運輸后送至各循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）。其氣旋步驟為：新風(fēng)系統(tǒng)通道-初效過濾器-中效過濾器-預(yù)電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風(fēng)機-排風(fēng)管-各循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)機組（AHU）。
7、CP室、ML室、清洗室用酸量相對性較多，CP室、ML房間內(nèi)的高效送風(fēng)口正壓送風(fēng)口的擴散板需采用不銹鋼板材制做，清洗房間內(nèi)的FFU的鋼網(wǎng)需采用不銹鋼板材制做。
8、另特別注意，質(zhì)量診斷室依據(jù)加工工藝規(guī)定需采用灰黑色板墻、灰黑色現(xiàn)澆板，相對應(yīng)采用灰黑色送風(fēng)口，F(xiàn)FU的鋼網(wǎng)需采用灰黑色鋼網(wǎng)。
四、凈化設(shè)備的中央空調(diào)自動控制系統(tǒng)
新風(fēng)機組（MAU-1、2）采用變頻式離心風(fēng)機，由總排風(fēng)管上的負(fù)壓感應(yīng)器來操縱變頻調(diào)速器。在連接每一個排風(fēng)量及正壓力操縱循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）的新風(fēng)系統(tǒng)管上均設(shè)定電動蝶閥，由各凈化室的正壓力值來調(diào)整電動蝶閥的開啟度，使凈化室的正壓力值不隨生產(chǎn)線設(shè)備的風(fēng)量的轉(zhuǎn)變而轉(zhuǎn)變，電動蝶閥的開啟度轉(zhuǎn)變造成總排風(fēng)管上的負(fù)壓轉(zhuǎn)變，依據(jù)其預(yù)設(shè)值調(diào)整AHU-1、2的離心風(fēng)機頻率，以做到操縱目地。
1、凈化車間/凈化車間的溫度濕度操縱
凈化處理生產(chǎn)制造凈化車間的環(huán)境濕度是由新風(fēng)機組MAU-1、2來確保，操縱新風(fēng)機組排風(fēng)情況點，依據(jù)排風(fēng)情況預(yù)設(shè)值來調(diào)整干蒸氣空氣加濕器的電動式執(zhí)行器和翅片換熱器及電加熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。含濕量DPT由查驗室內(nèi)濕度光敏電阻器HE持續(xù)整定值。凈化處理生產(chǎn)制造凈化車間的溫度是由循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組AHU來確保的，依據(jù)室溫來調(diào)整翅片換熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。
2 、制冷控制系統(tǒng)
冷藏水系統(tǒng)軟件層面選用一級泵，用負(fù)載操縱的方式 來明確制冷機組及相對應(yīng)離心水泵、玻璃鋼冷卻塔的打開數(shù)量。依據(jù)設(shè)置供、智能回水壓力差來自動控制系統(tǒng)供、智能回水負(fù)責(zé)人中間壓力差總流量進(jìn)氣閥。
